世界芯片切割市場(chǎng)的較大份額,特別是在非集成電路晶圓劃片領(lǐng)域。金剛石鋸片(砂輪)劃片方法是目前常見(jiàn)的晶圓劃片方法。,傳統刀片進(jìn)行劃片極易導致晶圓破碎,且劃片速度較慢,切割刀片需要頻繁的更換,后期運行成本較高。
新型劃片-激光,激光屬于無(wú)接觸式加工,不對晶圓產(chǎn)生機械應力的作用,對晶圓損傷較小。 由于激光在聚焦上的優(yōu)點(diǎn), 聚焦點(diǎn)可小到亞微米數量級, 從而對晶圓的微處理更具優(yōu)越性, 可以進(jìn)行小部件的加工; 即使在不高的脈沖能量水平下, 也能得到較高的能量密度, 有效地進(jìn)行材料加工。
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