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    行業(yè)資訊

    激光切割機在半導體晶圓中的應用

    2021-07-27 返回列表
    近年來(lái),隨著(zhù)光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,高集成半導體晶圓需求不斷增長(cháng)、硅、碳化硅、藍寶石、玻璃等材料被廣泛應用于半導體晶圓中。隨著(zhù)晶圓集成度大幅提高,晶圓趨向輕薄化,傳統的加工方式不再適用,激光切割逐漸引入半導體晶圓切割中。
    半導體器件分類(lèi):

    激光切割機在半導體晶圓中的應用-半導體器件分類(lèi)

    激光屬于無(wú)接觸式加工,不對晶圓產(chǎn)生機械應力的作用,對晶圓損傷較小。由于激光在聚焦的優(yōu)點(diǎn),聚焦點(diǎn)可小到亞微米數量級,從而對晶圓的微處理更具優(yōu)越性,可以進(jìn)行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進(jìn)行材料加工。大多數材料吸收激光直接將材料汽化,打出連續的盲孔,形成溝道。從而實(shí)現切割的目的,因為光板較小,最低限度的碳化影響。
    切割流程:
    激光切割機在半導體晶圓中的應用-切割流程
    半導體晶圓的激光隱形切割技術(shù)是一種全新的激光切割工藝,具有切割速度快、切割不產(chǎn)生粉塵、無(wú)耗損、所需切割道小、完全干制程等諸多優(yōu)勢。隱形切割主要原理是將短脈沖激光光束透過(guò)材料表面聚焦在材料中間,在材料中間形成改質(zhì)層,然后通過(guò)外部施加壓力使芯片分開(kāi)。
    半導體樣品:
    激光切割機在半導體晶圓中的應用-樣品
    晶圓切割是先進(jìn)技術(shù)的代表,標志著(zhù)一個(gè)國家的先進(jìn)水平,想要不出現被卡脖子的狀況,唯有發(fā)展自己的技術(shù),才能跳出這個(gè)泥潭。
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